第249章 小世界搞研发[第2页/共3页]

“志远，你真的想清楚了吗？光刻机可不是小项目，别说我们海内了，就算是国际上，也只要少数几个国度能勉强搞出来。你说你一小我带着几个质料就能做成……这事儿，你真有掌控？”

他面前堆积如山的质料被整齐地归类摆放，金属质料泛着冷冽的光芒，光学仪器一尘不染地摆列在一旁，而一台台紧密的机器设备悄悄地等候着他的操纵。

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赵部长见他这么自傲，内心却更加不安。

几人你一言我一语，群情得热火朝天，但无一例外都对许志远能造出光刻机这件事持思疑态度。

“搞个屁！”另一名技术科员嘲笑一声，“你晓得光刻机是甚么东西吗？那但是国际顶尖技术！外洋那些本钱主义国度都搞了几十年才勉强有点端倪。我们国度连根本产业都不完美，他拿着这些质料就想搞出来？真当本身是神仙了！”

……

“那能一样吗？”嘲笑的科员撇了撇嘴，“数控机床和光刻机底子不是一个量级的东西！此次他就是自傲过甚了，等着看他如何结束吧！”

但是，没人晓得的是，许志远现在已经将尝试室里的质料全数收进了小天下。站在小天下的事情台前，他看着面前堆积如山的质料，嘴角微微上扬。

许志远看着赵部长，眼中透着一股笃定：“您放心吧。我既然敢提这个项目，就申明我内心稀有。这事儿对我来讲，的确是难，但毫不是不成能。”

“光刻机的灵魂是光源，没有高效稳定的光源，光刻机就是个废料。”许志远低声自语，目光落在一台高功率激光器上。

赵部长盯着他看了几秒，终究叹了口气：“行吧！既然你这么说，那我就不拦你了。不过志远，你要记着，这条路上，你本身很多留个心眼，别让那些人抓住把柄！”

为了实现第一代光刻机的目标，他选用了193纳米的深紫外(Deep Ultraviolet，DUV)光源。这是目前最成熟的光刻机光源技术，固然国际上的EUV(极紫外)光刻技术更先进，但他深知，以现在的资本和前提，193纳米已经是最实际的挑选。

第一步：光源体系的研发

“镜片组……反射镜……波片……”他一边自言自语，一边从质料堆里遴选出需求的光学组件。每一块镜片都必须达到亚纳米级的精度，稍有偏差，全部光束整形体系就会见效。

第二天一早，一辆装满质料的卡车驶进了轧钢厂的院子里。车上装着各种金属质料、光学仪器、紧密零件，另有几台特别定制的机器设备。