第271章 动摇[第1页/共3页]

毛子的代表嘲笑道：“讲得倒是头头是道，但真要造出如许的设备，连我们毛子都不敢说能做到，他们就更不成能了。”

许志远持续说道：“接下来的关头是光学投影体系，它的感化是将电路图形通过掩膜版投影到芯片的晶圆上。我们的光学体系利用了高精度的多组光学透镜，能够将电路图形缩小数倍，投影精度达到亚微米级别。”

支撑派的代表们一边测量一边交换，眼神中尽是欣喜和赞叹。但就在此时，思疑派代表们也缓缓走下台，脸上带着较着的不屑，仿佛非要找出点题目不成。

但是，思疑派代表们却底子听不出来。他们交头接耳，小声嘀咕：“光刻机？他们能造出这类东西？笑话！搞不好只是从别的国度偷来的技术。”

“这是我们自主研发的光刻机，它是芯片制造的关头设备。在畴昔的几年里，我们的技术团队霸占了很多困难，包含深紫外光源体系、光学投影体系和纳米级掩膜版制造技术。”

支撑派代表们的态度已经从最后的等候逐步窜改成震惊。

“起首是光源，这是光刻机的核心之一。我们采取了深紫外光源技术，这类光源的波是非至248纳米，能够在纳米级范围内切确刻蚀芯片的电路图形。为了实现这个光源，我们的团队开辟了一种新型气体激光器，并处理了光源稳定性和强度的题目。” 台下的支撑派代表们听得目不转睛。瑞士某紧密仪器公司的代表忍不住低声说道：“这类深紫外光源技术我们也在研讨，但目前还没达到这类稳定性，这也太快了……”

他用激光唆使笔指向屏幕上的光刻机，详细解释了每个关头部件的服从和道理。会场中的支撑派代表听得目不转睛，很多人还在低声交换：“他们连光刻机都能造出来？这就能解释为甚么他们的芯片数控体系能获得冲破了。”

毛子的代表也拥戴道：“对，这类东西只能骗内行。要证明技术真正过硬，得看它能不能支撑大范围产业出产，而不是用一两个零件来乱来人。”

他用激光笔指向屏幕，分步调详细阐述光刻机的核心事情道理：

面对思疑派的挑衅，许志远还是保持着沉着。他微微一笑，拿起话筒，说道：

标致国的代表更是直接点头：“不成能！光刻机是高端产业设备的顶峰技术，他们的产业根本如何能够支撑得起如许的研发？这不过是他们故弄玄虚罢了。”

许志远接着说道：

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“深紫外光源？亚微米级投影精度？如果这些都是真的，那他们的光刻机技术已经不输给我们了！”汉斯某汽车制造企业的代表低声说道。他的火伴点了点头，弥补道：“这已经不是简朴的技术冲破，而是一种全面的超出。”