第341章 极紫外光刻[第5页/共5页]

跟着光源技术的冲破，科研团队在光学体系的团体机能优化方面也获得了一系列首要的停顿。通过对光路设想的进一步优化和对光学元件的邃密调剂，极紫外光刻暴光光学体系的辩白率获得了大幅晋升，已经能够达到国际先进程度的边沿。这就像是一把本来略显钝拙的手术刀，颠末经心打磨后变得锋利非常，能够在芯片制造的微观天下中停止更加邃密的“雕镂”。

颠末一番细心而深切的排查，科研团队发明是因为光源产生的高热量在短时候内没法有效披收回去，使得光学元件的温度急剧上升，进而激发了热变形。这就像是一台高速运转的发动机因为散热不良而呈现毛病，导致全部体系堕入瘫痪。

“这个散热计划在实际上应当能够满足需求，但在实际制造和安装过程中，我们还需求降服很多技术困难。”热办理专家赵工看着设想图纸，微微皱起眉头说道，“比如微通道的加工精度和密封性要求极高，任何藐小的瑕疵都能够导致冷却液泄漏或者散热结果不佳，就像一个紧密的腕表，哪怕一个零件呈现题目，都能够影响全部腕表的运转。我们需求与紧密制造专家紧密合作，确保每一个环节都万无一失。”